Вакуумное оборудование SMC

Вакуумные эжекторы (вакуумные генераторы)

Вакуумные эжекторы SMC серии ZH, одноступенчатые

Вакуумные эжекторы SMC серии ZH, одноступенчатые


Особенности

  • Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
  • Малые габариты и масса
  • Исполнения с быстроразъемным соединением или с внутренней резьбой
  • Исполнения с встроенным или без встроенного глушителя

Вакуумные эжекторы SMC серии ZX, одноступенчатые

Вакуумные эжекторы SMC серии ZX, одноступенчатые


Особенности

  • Модульная конструкция с фильтром, распределителем или вакуумным реле
  • Применяется для ваккумной транспортировки электронных комплектующих или прочих объектов массой до 100 г

Вакуумные эжекторы SMC серии ZU, встраиваемые в линию

Вакуумные эжекторы SMC серии ZU, встраиваемые в линию


Особенности

  • Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
  • Компактная конструкция
  • Встроенный глушитель и быстроразъемные соединения
  • Диаметр сопла 0,5 и 0,7
  • Подвод сжатого воздуха находится на одной линии с отводом вакуума

Вакуумные эжекторы SMC серии EZM, двухступенчатые

Вакуумные эжекторы SMC серии EZM, двухступенчатые


Особенности

  • Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
  • Компактный, легкий, двухступенчатый, может содержать в себе эжекторный блок, реле вакуума, фильтр, глушитель, распределители (один или два), дроссель

Вакуумные эжекторы SMC серии ZL, трехступенчатые, с фильтром и пневмоглушителем

Вакуумные эжекторы SMC серии ZL, трехступенчатый, с фильтром и пневмоглушителем


Особенности

  • Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
  • Экономят энергию: потребление сжатого воздуха не превышает 63 норм.л/мин (ZL112) и 126 норм.л/мин (ZL212) при расходе всасываемого воздуха соответственно 100 и 200 норм.л/мин
  • Малые масса и габариты
  • В стандартном исполнении содержит встроенный пневмоглушитель; кроме этого, ZL112 содержит встроенный фильтр
  • Возможно исполнение со встроенным цифровым реле вакуума, вакуумным манометром, управляющими распределителями (по запросу)

Вакуумные вытяжки-воздуходувки ZH-X185

Вакуумные вытяжки-воздуходувки ZH-X185


Особенности

  • Предназначены для создания разрежения посредством мощного осесимметричного газового эжектора, а также для обдува выхлопной струей
  • Низкое потребление сжатого воздуха при высоких выходных характеристиках: расход на обдув вчетверо выше потребляемого расхода, расход на всасывание втрое выше потребляемого
  • Сквозной канал с проходным диаметром 21 мм
  • В отличие от электрических устройств, не требует технического обслуживания двигателя и фильтра

Вакуумные фильтры SMC. Обратные клапаны

Вакуум-фильтры ZFA

Вакуум-фильтры ZFA


Особенности

  • Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
  • Большая фильтрующая поверхность
  • Монтируются в любом положении, подходят для модульного монтажа (до 10 элементов)
  • Легко заменяемый фильтрующий элемент

Обратный клапан AK2000

Обратный клапан AK2000


Особенности

  • Предназначен для беспрепятственного прохождения воздуха в одном направлении и запирания потока в другом

Вакуум-фильтры ZFB

Вакуум-фильтры ZFB


Особенности

  • Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
  • Большая фильтрующая поверхность
  • Монтируются в любом положении, подходят для модульного монтажа (до 10 элементов)
  • Легко заменяемый фильтрующий элемент

Обратные клапаны AKH/AKB

Обратные клапаны AKH/AKB


Особенности

  • Предназначены для беспрепятственного прохождения воздуха в одном направлении и запирания потока в другом
  • Три варианта исполнения в зависимости от условий применения:
    1. Встраиваемый прямо в линию
    2. С резьбовым соединением для монтажа прямо на оборудовании
    3. Полностью резьбовой тип используется в рабочей среде с возможными выбросами брызг или пара и т.д.
  • Можно использовать для вакуума (-100 кПа)

Вакуум-фильтры SMC серии ZFC

 

Вакуум-фильтры SMC серии ZFC

Особенности

  • Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
  • Встроенное быстроразъемное соединение под трубку
  • Встраивается прямо в линию
  • Малогабаритная и облегченная конструкция

Приводы вакуумных камер и вакуумные модули SMC

Высоковакуумный щелевой затвор XGT с пневматическим приводом

Высоковакуумный щелевой затвор XGT с пневматическим приводом


Особенности

  • Предназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами
  • Идеально подходит для работы с плоскими образцами (пластинами) диаметром до 300 мм
  • Благодаря прямоугольной форме окна имеет компактные габариты
  • В комбинации с вакуумным манипулятором CYV или роботом позволяет создавать оптимальные транспортно-загрузочные системы
  • L-образная траектория открытия затвора предотвращает износ уплотнений и загрязнение вакуумных объемов
  • Сильфонный узел защищен от повреждения из-за попадания посторонних предметов (частиц пластин и т.п.)
  • Блокировка от аварийного падения давления управления или несанкционированного срабатывания
  • Стандартные габаритные и присоединительные размеры по SEMI MESK (32х222, 46х236, 50х336 мм), специальные исполнения - по запросу
  • Бесконтактный опрос положения (герконовые датчики положения D-А93)
  • Ресурс более 2 млн. циклов
  • Кассетный и открытый типы
  • По запросу: высокотемпературные исполнения, исполнения с подогревом корпуса, со сменным сильфоном, с анодированием поверхностей, контактирующих со средой, исполнения из нержавеющей стали

Вакуумные модули SMC серии SJ3A6

Вакуумный модуль SJ3A6


Особенности

  • Предназначены для подачи вакуума и избыточного давления к вакуумному присосу при помощи одного устройства
  • Два встроенных золотниковых пневмораспределителя
  • Потребляемая мощность 0,15 Вт (в исполнении с энергосберегающей схемой)
  • Ширина 10 мм (как у распределителя SJ3000)
  • Скорость снятия нагрузки регулируется пневмодросселем
  • Встроенные фильтры вакуумной линии и линии сброса. Сменные фильтрующие элементы
  • Подключение датчиков давления и аналогичных устройств к порту PS
  • Групповой монтаж: до 16 вакуумных модулей в блоке с общим подводом и до 20 - в блоке с индивидуальным подводом электропитания
  • Возможность подключения через интерфейсные модули ЕХ180 и ЕХ510
  • Монтаж в одном блоке с распределителями SJ2000/3000 (по запросу)
  • Кроме вакуума может работать с двумя различными избыточными давлениями, которые подаются в порты 1(Р) и 3/5(Е)

Вакуумный бесштоковый цилиндр CYV

Вакуумный бесштоковый цилиндр CYV

Особенности

  • Предназначен для установки внутри вакуумной или шлюзовой камеры и выполнения операций транспортировки в условиях разрежения до 10⁻⁴ Па
  • В совокупности с затворами XGT позволяет создавать компактные транспортные системы вакуумных установок
  • Конструкция бесштокового цилиндра исключает утечки внутрь вакуумного объема
  • Усилие на каретку передается за счет сил магнитного сцепления
  • Применяемые материалы и конструктивные решения минимизируют появление продуктов износа и загрязнение вакуумного объема
  • Предусмотрена регулировка длины хода в крайних положениях (±2 мм)
  • Конструкция цилиндра обеспечивает плавный разгон, торможение и безударную остановку каретки без использования специальных пневматических схем управления. Это гарантируют безопасную работу с хрупкими, деликатными образцами (монокристаллическими пластинами)
  • Компактные габариты и возможность работы в условиях вакуума позволяют эффективно использовать пространство и получать оптимальные компоновки транспортных систем
  • Регулируемая длина хода
  • Не требует вакуумных вводов движения, что повышает надежность оборудования и упрощает конструкцию