Вакуумное оборудование SMC
Вакуумные эжекторы (вакуумные генераторы)
Вакуумные эжекторы SMC серии ZH, одноступенчатые
Особенности
- Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
- Малые габариты и масса
- Исполнения с быстроразъемным соединением или с внутренней резьбой
- Исполнения с встроенным или без встроенного глушителя
Вакуумные эжекторы SMC серии ZX, одноступенчатые
Особенности
- Модульная конструкция с фильтром, распределителем или вакуумным реле
- Применяется для ваккумной транспортировки электронных комплектующих или прочих объектов массой до 100 г
Вакуумные эжекторы SMC серии ZU, встраиваемые в линию
Особенности
- Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
- Компактная конструкция
- Встроенный глушитель и быстроразъемные соединения
- Диаметр сопла 0,5 и 0,7
- Подвод сжатого воздуха находится на одной линии с отводом вакуума
Вакуумные эжекторы SMC серии EZM, двухступенчатые
Особенности
- Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
- Компактный, легкий, двухступенчатый, может содержать в себе эжекторный блок, реле вакуума, фильтр, глушитель, распределители (один или два), дроссель
Вакуумные эжекторы SMC серии ZL, трехступенчатые, с фильтром и пневмоглушителем
Особенности
- Предназначены для создания вакуума посредством сжатого воздуха
- Экономят энергию: потребление сжатого воздуха не превышает 63 норм.л/мин (ZL112) и 126 норм.л/мин (ZL212) при расходе всасываемого воздуха соответственно 100 и 200 норм.л/мин
- Малые масса и габариты
- В стандартном исполнении содержит встроенный пневмоглушитель; кроме этого, ZL112 содержит встроенный фильтр
- Возможно исполнение со встроенным цифровым реле вакуума, вакуумным манометром, управляющими распределителями (по запросу)
Вакуумные вытяжки-воздуходувки ZH-X185
Особенности
- Предназначены для создания разрежения посредством мощного осесимметричного газового эжектора, а также для обдува выхлопной струей
- Низкое потребление сжатого воздуха при высоких выходных характеристиках: расход на обдув вчетверо выше потребляемого расхода, расход на всасывание втрое выше потребляемого
- Сквозной канал с проходным диаметром 21 мм
- В отличие от электрических устройств, не требует технического обслуживания двигателя и фильтра
Вакуумные фильтры SMC. Обратные клапаны
Вакуум-фильтры ZFA
Особенности
- Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
- Большая фильтрующая поверхность
- Монтируются в любом положении, подходят для модульного монтажа (до 10 элементов)
- Легко заменяемый фильтрующий элемент
Обратный клапан AK2000
Особенности
- Предназначен для беспрепятственного прохождения воздуха в одном направлении и запирания потока в другом
Вакуум-фильтры ZFB
Особенности
- Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
- Большая фильтрующая поверхность
- Монтируются в любом положении, подходят для модульного монтажа (до 10 элементов)
- Легко заменяемый фильтрующий элемент
Обратные клапаны AKH/AKB
Особенности
- Предназначены для беспрепятственного прохождения воздуха в одном направлении и запирания потока в другом
- Три варианта исполнения в зависимости от условий применения:
1. Встраиваемый прямо в линию
2. С резьбовым соединением для монтажа прямо на оборудовании
3. Полностью резьбовой тип используется в рабочей среде с возможными выбросами брызг или пара и т.д.
- Можно использовать для вакуума (-100 кПа)
Вакуум-фильтры SMC серии ZFC
Особенности
- Предотвращают поломки вакуумного оборудования из-за загрязнений во всасываемом воздухе
- Встроенное быстроразъемное соединение под трубку
- Встраивается прямо в линию
- Малогабаритная и облегченная конструкция
Приводы вакуумных камер и вакуумные модули SMC
Высоковакуумный щелевой затвор XGT с пневматическим приводом
Особенности
- Предназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами
- Идеально подходит для работы с плоскими образцами (пластинами) диаметром до 300 мм
- Благодаря прямоугольной форме окна имеет компактные габариты
- В комбинации с вакуумным манипулятором CYV или роботом позволяет создавать оптимальные транспортно-загрузочные системы
- L-образная траектория открытия затвора предотвращает износ уплотнений и загрязнение вакуумных объемов
- Сильфонный узел защищен от повреждения из-за попадания посторонних предметов (частиц пластин и т.п.)
- Блокировка от аварийного падения давления управления или несанкционированного срабатывания
- Стандартные габаритные и присоединительные размеры по SEMI MESK (32х222, 46х236, 50х336 мм), специальные исполнения - по запросу
- Бесконтактный опрос положения (герконовые датчики положения D-А93)
- Ресурс более 2 млн. циклов
- Кассетный и открытый типы
- По запросу: высокотемпературные исполнения, исполнения с подогревом корпуса, со сменным сильфоном, с анодированием поверхностей, контактирующих со средой, исполнения из нержавеющей стали
Вакуумные модули SMC серии SJ3A6
Особенности
- Предназначены для подачи вакуума и избыточного давления к вакуумному присосу при помощи одного устройства
- Два встроенных золотниковых пневмораспределителя
- Потребляемая мощность 0,15 Вт (в исполнении с энергосберегающей схемой)
- Ширина 10 мм (как у распределителя SJ3000)
- Скорость снятия нагрузки регулируется пневмодросселем
- Встроенные фильтры вакуумной линии и линии сброса. Сменные фильтрующие элементы
- Подключение датчиков давления и аналогичных устройств к порту PS
- Групповой монтаж: до 16 вакуумных модулей в блоке с общим подводом и до 20 - в блоке с индивидуальным подводом электропитания
- Возможность подключения через интерфейсные модули ЕХ180 и ЕХ510
- Монтаж в одном блоке с распределителями SJ2000/3000 (по запросу)
- Кроме вакуума может работать с двумя различными избыточными давлениями, которые подаются в порты 1(Р) и 3/5(Е)
Вакуумный бесштоковый цилиндр CYV
Особенности
- Предназначен для установки внутри вакуумной или шлюзовой камеры и выполнения операций транспортировки в условиях разрежения до 10⁻⁴ Па
- В совокупности с затворами XGT позволяет создавать компактные транспортные системы вакуумных установок
- Конструкция бесштокового цилиндра исключает утечки внутрь вакуумного объема
- Усилие на каретку передается за счет сил магнитного сцепления
- Применяемые материалы и конструктивные решения минимизируют появление продуктов износа и загрязнение вакуумного объема
- Предусмотрена регулировка длины хода в крайних положениях (±2 мм)
- Конструкция цилиндра обеспечивает плавный разгон, торможение и безударную остановку каретки без использования специальных пневматических схем управления. Это гарантируют безопасную работу с хрупкими, деликатными образцами (монокристаллическими пластинами)
- Компактные габариты и возможность работы в условиях вакуума позволяют эффективно использовать пространство и получать оптимальные компоновки транспортных систем
- Регулируемая длина хода
- Не требует вакуумных вводов движения, что повышает надежность оборудования и упрощает конструкцию